美國(guó)英特格Entegris過濾器，英特格公司致力于通過改進(jìn)幾個(gè)關(guān)鍵工藝（包括光刻，濕法蝕刻和清潔，化學(xué)機(jī)械平面化，薄膜沉積，批量化學(xué)處理，晶圓和掩模版處理和運(yùn)輸以及測(cè)試）中的污染控制來(lái)幫助制造商提高產(chǎn)量，裝配