惰性環(huán)境超聲噴涂系統(tǒng)是XYZ三軸進(jìn)口伺服運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、計(jì)量泵、載氣控制、基底加熱板、真空吸板等全部集成于手套箱內(nèi)，可用于需要嚴(yán)格控制大氣或滿足某些應(yīng)用要求的安全性的涂層，特別適合科研實(shí)驗(yàn)室的研發(fā)及小面積薄膜