FYM22B-5L雙面研磨拋光機(jī)

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湖南磨王科技智造有限責(zé)任公司

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所在地區(qū)：湖南邵陽(yáng)市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

詳細(xì)介紹

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

二、設(shè)備特點(diǎn)

1.機(jī)身結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，機(jī)架采用鑄件龍門(mén)式結(jié)構(gòu)，剛性好，承壓能力強(qiáng)，能滿足高負(fù)載下高速穩(wěn)定運(yùn)行。

2.上下盤(pán)均采用通冷水結(jié)構(gòu)，工件在加工過(guò)程中能保持恒定溫度，有效地提高了工作效率和加工質(zhì)量。

3.采用四電機(jī)驅(qū)動(dòng)，下盤(pán)、上盤(pán)、齒圈、太陽(yáng)輪分別由電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)，電機(jī)均采用變頻電機(jī)且使用變頻調(diào)速器控制，能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的停止、加速、減速及換向，能有效的防止薄脆工件破碎。

4.本機(jī)自帶修盤(pán)系統(tǒng)，通過(guò)伺服系統(tǒng)，能在本機(jī)上實(shí)現(xiàn)對(duì)上下盤(pán)進(jìn)行車削加工，整機(jī)精度保持性強(qiáng)。

5.游星輪傳動(dòng)采用柱銷齒結(jié)構(gòu)，并采用伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)輪和齒圈的同步升降，傳動(dòng)平穩(wěn)無(wú)沖擊，極大地提高了游星輪和柱銷齒的使用壽命，大大降低了機(jī)器的維護(hù)時(shí)間和成本。

6.上盤(pán)上下運(yùn)動(dòng)采用低摩擦氣缸+SCBS自動(dòng)補(bǔ)償平衡系統(tǒng)，通過(guò)滾珠花鍵副，平穩(wěn)地實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制。

7.采用的PLC系統(tǒng)，觸摸屏操作面板，所有工藝參數(shù)及工藝配方可在觸摸屏上進(jìn)行修改設(shè)置，可根據(jù)設(shè)定好的工藝參數(shù)自動(dòng)完成整個(gè)加工過(guò)程。

8.整機(jī)采用自動(dòng)集中潤(rùn)滑裝置，潤(rùn)滑良好，整機(jī)使用壽命長(zhǎng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

序號(hào)	項(xiàng)目	規(guī)格參數(shù)
1	上研磨盤(pán)尺寸	Ø1510×Ø488×85(mm)
2	下研磨盤(pán)尺寸	Ø1510×Ø488×85(mm)
3	游星輪參數(shù)	柱銷齒柱銷直徑Ø10 節(jié)距21.05齒數(shù)82
4	游星輪數(shù)量	5
5	工件尺寸	Ø510(mm)
6	工件厚度	0.3-30(mm)
7	下研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速	0-65(rmp)
8	加工壓力	1000Kg
9	主氣缸	125×350
10	主電機(jī)	18.5Kw
11	上盤(pán)驅(qū)動(dòng)電機(jī)	11Kw
12	齒圈驅(qū)動(dòng)電機(jī)	4Kw
13	太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)	2.2Kw
14	修盤(pán)伺服電機(jī)	1.3Kw
15	升降伺服電機(jī)	0.75Kw
16	設(shè)備總功率	39Kw
17	外形尺寸	約3130×1810×2700(mm)
18	設(shè)備質(zhì)量	≈10000Kg

安裝條件：

序號(hào)	項(xiàng)目	指標(biāo)要求
1	環(huán)境	室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源
2	電源	三相五線380V
3	壓縮氣源	0.6～0.8Mpa
4	溫度	0℃-45℃
5	相對(duì)濕度	≤95%

關(guān)鍵詞：PLC 伺服電機(jī)

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