NS-X20-01X軸納米定位臺

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更新時間：2024-12-20 15:46:39瀏覽次數(shù)：85次

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天津納微機器人科技有限公司

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聯(lián)系人：崔先生

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產(chǎn)品簡介

典型應用：半導體、表面檢測、光學探針、AFM/SPM/SNOM、高密度存儲

詳細介紹

典型應用：半導體、表面檢測、光學探針、AFM/SPM/SNOM、高密度存儲。

納米位移系統(tǒng)的應用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學設(shè)備、半導體設(shè)備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米（nm）的位移，整個系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。

納米位移臺是一種機械裝置，內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。微納機器人設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器，閉環(huán)控制時，我們的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。

控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)?？刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。

我們提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當重要的。對外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號（-10V~10V）控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信?？刂破鲀?nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。

關(guān)鍵詞：控制器傳感器

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