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硅片表面石英等離子清洗機去膠

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地深圳市

更新時間:2025-06-21 06:39:45瀏覽次數(shù):51次

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VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內部無電極。

產品簡介

      VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內部無電極。即放電能量從處理器外部施加,可以避免電極的腐蝕和反應物在極板沉積的問題。


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀應用:PDMS鍵合、引入特定官能團、等離子灰化、表面親疏水改性、提高粘接性

VPS-QZ05石英真空等離子處理儀特點處理過程中不會引入污染物、操作簡單、適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用


VPS-QZ05石英真空等離子處理儀


產品參數(shù)

型號

VPS-QZ05

頻率

13. 56 MHz

功率

0-200W連續(xù)可調

腔體材質

優(yōu)質石英

腔體容積

5L

腔體尺寸

Φ150×290(D)mm

氣體流量控制器

MFC 質量流量控制器

氣路數(shù)量

2 路氣體,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蝕性氣體需定制)

真空測定系統(tǒng)

皮拉尼真空硅管

極限真空度

1Pa

控制方式

PLC+4.3寸觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(選配)

電源供應

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)



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